機電工程學系

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系所沿革

為迎合產業機電整合人才之需求,本校於民國 91年成立機電科技研究所,招收碩士班學生;隨後並於民國93年設立大學部,系所整合為「機電科技學系」,更於101學年度起招收博士班學生。103學年度本系更名為「機電工程學系」,本系所之發展方向與目標,係配合國家政策、產業需求與技術發展趨勢而制定。本系規劃專業領域包含「精密機械」及「光機電整合」 為兩大核心領域, 使學生不但學有專精,並具跨領域的知識,期能強化學生之應變能力,以適應多元變化的明日社會。

教學目標主要希望教導學生機電工程相關之基本原理與實務應用的專業知能,並訓練學生如何運用工具進行設計、執行、實作與驗證各項實驗,以培養解決機電工程上各種問題所需要的獨立思考與創新能力。

基於建立系統性的機電工程整合教學與研究目標,本系學士班及研究所之教育目標如下:

一、學士班

1.培育具備理論與實作能力之機電工程人才。

2.培育符合產業需求或教育專業之機電工程人才。

3.培育具備人文素養、專業倫理及終身學習能力之機電工程人才。

二、研究所

1.培育具備機電工程整合實務能力之專業工程師或研發人才。

2.培育機電工程相關研究創新與產業應用之專業工程師或研發人才。

3.培育具備人文素養、專業倫理及終身學習能力之專業工程師或研發人才。

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    整合光輔助電化學穿孔蝕刻與微電鑄技術應用於微金屬柱陣列之研製
    (2007) 李明承; Ming-Cheng Li
    本研究將整合光輔助電化學蝕刻(ECE)與精密電鑄技術,以開發高密度金屬垂直結構陣列之製程技術。利用改變光照強度與電流密度等實驗條件,以電化學蝕刻達到矽晶圓高密度微穿孔的目的,再利用精密電鑄技術進行穿孔之金屬導體填充,如此可實現高密度金屬垂直結構陣列。未來可應用於積體化探針陣列之製作,或利用晶圓內垂直導體而實現晶圓級堆疊封裝之目的。此技術開發有設備與製程成本低、可積體化生產、與半導體製程相容性高、批次生產與良率高等特點。 基於上述,本研究利用自行開發之低成本電化學蝕刻(ECE)設備,順利測得相關製程之最佳參數。由實驗結果已驗證,在利用電化學蝕刻技術製作高深寬比微孔洞陣列方面,當蝕刻時間達到31.5小時,可得高深寬比之結構。所用之晶片為n-type (100),其蝕刻液為2.5 wt.%之氫氟酸溶液,陽極放置矽晶片,陰極為白金,獲得之穿孔其邊長為40 mm,深寬比約為12.5,證明利用此技術已能局部取代乾式蝕刻之應用領域。在金屬柱電鑄方面,利用正負脈衝電流,使金屬柱陣列能順利成形,其金屬柱高度約500 mm,深寬比約為12.5。
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    一種懸空結構的製造方法
    (2009-06-21) 楊啟榮; 林明憲; 李明承
    一種懸空結構的製造方法,包含下列步驟:(1)提供一矽基板;(2)定義一圖形於該矽基板上,該圖形則具有一保留區與一蝕刻區;(3)以電化學蝕刻,是對該矽基板通以一電場並輔以一蝕刻液進行蝕刻,其中對該電場施以一第一電流密度,將該蝕刻區下方的矽基板去除,致使該保留區下方即形成一預備懸空結構,則該預備懸空結構具有一底部與該矽基板連接;以及(4)改變該電場的電流密度至一高於該第一電流密度的第二電流密度,藉以去除該底部,而使該預備懸空結構懸空於該矽基板上而成為一懸空結構。
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    整合光輔助電化學穿孔蝕刻與微電鑄技術應用於微金屬柱陣列之研製
    (2007-11-23) 楊啟榮; 李明承; 羅嘉佑; 張龍吟
    本研究將整合光輔助電化學蝕刻(ECE)與精密電鑄技術,以開發高密度金屬垂直結構陣列之製程技術。利用改變光照強度與電流密度等實驗條件,以電化學蝕刻達到矽晶圓高密度微穿孔的目的,再利用精密電鑄技術進行穿孔之金屬導體填充,如此可實現高密度金屬垂直結構陣列。未來可應用於積體化探針陣列之製作,或利用晶圓內垂直導體而實現晶圓級堆疊封裝之目的。此技術開發有設備與製程成本低、可積體化生產、與半導體製程相容性高、批次生產與良率高等特點。 基於上述,本研究利用自行開發之低成本電化學蝕刻(ECE)設備,順利測得相關製程之最佳參數。由實驗結果已驗證,在利用電化學蝕刻技術製作高深寬比微孔洞陣列方面,當蝕刻時間達到31.5小時,可得高深寬比之穿孔結構。所用之晶片為n-type <100>,其蝕刻液為2.5 wt.%之氫氟酸溶液,陽極放置矽晶片,陰極為白金電極,獲得之穿孔其線寬為40 μm,深寬比約為12.5,證明利用此技術已能局部取代乾式蝕刻之應用領域。在金屬柱電鑄方面,利用正負脈衝電流,使金屬柱陣列能順利成形,其金屬柱高度約500 μm,深寬比約為12.5。
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    電化學蝕刻技術應用於靜電式微致動器之研製
    (2006-11-30) 楊啟榮; 陳顯禎; 郭華皓; 李明承; 張明宗
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    PDMS微反應器應用於金奈米微粒合成之研製
    (2006-11-11) 楊啟榮; 施建富; 林宏展; 李明承; 郭文化
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    利用電化學蝕刻技術應用於微懸浮結構之製作
    (2006-11-24) 楊啟榮; 陳顯禎; 郭華皓; 李明承; 曾柏翔