教師著作
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Item 感應耦合電漿離子蝕刻技術(行政院國家科學委員會精密儀器發展中心, 2005-03-09) 林郁欣; 徐永裕; 楊啟榮; 胡一君; 周曉宇Item 微機電製程於可調光衰減器之研製(2004-11-13) 楊啟榮; 廖顯奎; 賴宜君; 林郁欣Item 應用於微光開關之SU-8厚膜光阻微結構與致動器之研製(2003-12-05) 楊啟榮; 楊智仲; 趙俊傑; 林郁欣Item 微系統類LIGA製程光刻技術(財團法人國家實驗研究院儀器科技研究中心, 2001-02-01) 楊啟榮; 強玲英; 郭文凱; 林郁欣; 林暉雄; 張哲瑋; 趙俊傑微系統類 LIGA 製程在微結構的厚度、深寬比、精度方面雖不如 X-ray LIGA 製程，但在生產成本、耗時性、製程彈性方面卻遠優於 X-ray LIGA 技術。在 MEMS 應用領域次微米精度與極大深寬比並非絕對必要的前提下，類 LIGA 製程仍有其發展空間。本文將針對類 LIGA 製程光刻技術作通盤性的介紹，內容涵括標準 X-ray LIGA 製程、類 LIGA 製程的厚膜光阻 UV 微影技術、準分子雷射微細加工及感應耦合電漿離子蝕刻技術。