學位論文
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Item 量產型石墨烯作為紫外光發光二極體透明電流擴散層(2022) 陳又綺; Chen, You-Ci本研究以鎳金屬為催化劑，以電漿輔助式化學氣相沉積(Plasma-enhanced Chemical Vapor Deposition;PECVD)於基板上生長石墨烯薄膜作為透明電流擴散層。為於目標基板與石墨烯透明電流擴散層之間形成類歐姆接觸，本研究使用原子層化學氣相沉積(ALCVD)於目標氮化鎵基板表面沉積氧化鎳薄膜作為緩衝層，並對兩者進行熱退火合金化，以降低功函數差異造成之能障，藉優化參數實現低接觸電阻、高 UV 穿透之透明電流擴散層。以圓形傳輸線量測(CTLM)，檢視各製程參數對石墨烯透明電流擴散層與紫外光發光二極體表層之 p 型氮化鎵介面特性之影響。最終藉加入氧化鎳緩衝層，使介面間自蕭特基接觸轉為類歐姆接觸。達成具低特徵接觸電阻與類歐姆接觸之介面特性之大面積高品質石墨烯作為紫外光發光二極體透明電流擴散層之應用。Item 運用昆拉赫振盪量測局域功函數及研究其與電子結構之相互作用(2010) 林俊良; Chun-Liang Lin利用掃描穿隧能譜術可以探測高於真空能階之後的電子結構，包括穿透共振與昆拉赫震盪都可以於能譜中顯現。在銀薄膜於矽(111)7×7表面與金(111)表面的量測中發現昆拉赫震盪的峰值強度會隨著區域的不同而有所差異，這個差異是源自於各區域對電子的穿透率不同所產生，因而可以被運用來解析介面及表面的結構。另一個具有一般性的現象也在實驗中被觀察到，那就是即便昆拉赫震盪強度是具有局域性的差異，其總強度是守恒的，此外，藉由量測銀(100)表面的昆拉赫震盪，證明了塊材的能帶結構在某個表面上的投影是與穿透背景相關的。同時，藉由觀察銀薄膜在金屬基材上的穿透共振可以了解穿透共振會受到介面電子結構的影響，其發生與介面電子結構是否具有「類能隙特徵」有很大的關連性。另一方面，觀察銀/金(111)、銀/銅(111)與鈷/銅(111)三個系統的昆拉赫震盪，我們證實了薄膜與基底間的功函差異並非最低階峰值的能量平移，反而應該是存在於高階中的固定能量平移，因此高階的昆拉赫震盪可運用於精確地量測薄膜的功函數，故可用來量測具有量子井態的鉛島之震盪的功函數，從六層到十五層的實驗結果中發現其量測到的震盪形式與先前理論計算的結果相當吻合，由於鉛是一層一層地成長，我們發現功函數的增減與鉛島中已佔據的量子井態增減相關。最後，同樣是藉由掃描穿隧能譜術，碳六時薄膜在金屬基材上從費米能階到超過真空能階的電子結構被清楚地解析出來，結果顯示除了一般熟知的最低未填滿分子軌域加一(LUMO+1)及加二(LUMO+2)之外，一些額外與「超級原子分子軌域」相關的次能帶也顯現出來，甚至是在超過真空能階之後，我們認為碳六十分子薄膜的電子軌域之極限應該不是真空能階，而是電子游離能。此外，我們也發現能譜中在超過游離能之後的額外特徵，此特徵應該是屬於電子受到分子薄膜干涉的結果。