學位論文

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20151

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Author: search.filters.author.王晨育Subject: search.filters.subject.Germanium

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    矽於鎢表面上的擴散與成長
    (2015) 王晨育; Wang, Chen-Yu
    本實驗使用場離子顯微鏡研究矽原子吸附在鎢表面上的擴散行為與排列方式。藉由擴散運動實驗，我們得到單顆矽原子在鎢(110)和鎢(211)上的擴散活化能分別為0.66±0.04(eV)和0.48±0.01(eV)。在排列方面的觀察發現：鎢(110)上的矽原子在高覆蓋率時長成(2√2/√3×4/√3)R35.26結構；鎢(211)上的矽原子排成有間隔的直鏈狀結構；鎢(111)上的矽原子排成三角或直鏈型結構；鎢(411)上的矽原子排成(1×1)結構。 另外，我們為了蒸鍍鍺而嘗試了幾種方法，其中發現使用鎢舟是比較簡單有效的方法。