學位論文

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    以蝕刻吸附法備製覆銥鎢單原子級針尖與場發射電子電流量測
    (2010) 李育賢; Lee Yu-Hsien
    實驗以場離子顯微鏡(FIM)對覆銥鎢單原子針尖量測場發射電子電流。此針尖樣品不以指甲油封針電鍍,改用液面控制法減少銥原子的舖覆量,經加熱處理後,成長出單原子針尖。實驗中發現類型一單原子針尖場增益效果較類型二單原子針尖明顯,在-1800V的電壓下,量測得到電流數值:類型二單原子針大於六原子針尖與三原子針尖。 以回收KOH溶液進行蝕刻後的針尖,此針尖置入真空腔加熱後,可立即成長出單原子級針尖,並以三原子針尖量測約1nA場發射電流,三原子結構依舊穩定。以穿透式電子顯微鏡(TEM)並以光譜分析(EDS)進行成份分析,此針尖明顯有銥原子訊號,證實此蝕刻方法在蝕刻完成後,貴金屬會自然舖覆於鎢針尖。