Browsing by Author "謝顯傑"

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    開發功能性光萃取微米結構於軟性光電元件應用之研究
    (2013) 謝顯傑; Hsieh, Hsien-Chieh
    隨著奈微米(Nano/Micro technology)科技的進步，光電產業界不斷往省能、低成本、可攜式方向邁進，人類對於光學元件的重視日以遽增。加上半導體製程技術的突破性發展，整合光學元件形成完整的微光學系統，為了增進微光學元件的功率與效能，許多以控制微光學為基礎的技術被研究發展。其中製造微透鏡陣列(Microlens array)的方式最為快速、簡單，具有大量陣列以及輕量化的優點。 本研究微透鏡製程主要為改良LIGA-Like微成形技術，並結合擴散膜(Diffuser)與光罩製作微透鏡陣列(Microlens array)結構，我們將其稱為3D光擴散微影製程。這種光擴散方法結合光刻技術，製造出的軟性微透鏡陣列薄膜，具有高度可控(Well-control)形狀和接近100％的填充因子(High fill-factor)，這種全填充因子的表現可稱為無縫(Gapless)微透鏡陣列。 本研究是採以透光率達90%以上的聚二甲基矽氧烷(PDMS)作為微透鏡陣列的結構，PDMS可撓特性可整合在非平面元件上，達到微型化、微小化特性。對於外型的定義，透過弛垂方程式(Sag equation)擬合曲線來表示，進一步了解不同UV劑量下的外觀差異，最後對光學薄膜量測其光學性質。本研究使用雷射光束通過微透鏡陣列，觀察聚焦在焦平面的光斑點，並計算焦距與數值孔徑。結果發現隨著角度(0o, 30o, 60o)不同，光斑點(Spot)產生偏移變化，這個現象可被大量應用在光學感應器上(Optical sensor)、圖像感應器(Image sensor)。透過實驗研究與討論，本研究快速製造的微透鏡陣列，能夠有效幫助光學系統提高視角以及靈敏度。